A чиллерце пристрій для охолодження води, який може забезпечувати постійний тиск, постійну температуру та постійний потік. Це шляхом впорскування відповідної кількості води в резервуар для води, охолодження води через систему охолодження та використання насоса для транспортування охолоджувальної води до обладнання, яке потрібно охолодити. Охолоджуюча вода забирає тепло в обладнанні для досягнення ефекту охолодження. Охолоджуюча вода додається до обладнання середньої частоти головним чином через її високу частоту та великий струм. Коли використовується мішень для магнетронного розпилення, вона створює високу температуру та деформує пістолет, тому для охолодження пістолета потрібна водяна сорочка. Магнетронне напилення можна назвати одним із найвидатніших досягнень у технології нанесення покриттів. Його перевагами є хороша сила з’єднання плівки з підкладкою, висока швидкість напилення, низьке підвищення температури підкладки та хороша стабільність пристрою. Чиллер має незалежну систему циркуляції води та незалежну систему охолодження, на яку не впливає зовнішнє середовище. Разом ці функції забезпечують надійний контроль температури та високоякісні результати покриття для процесу вакуумного іонного покриття.
Функції та характеристики охолоджувача у машині для вакуумного іонного покриття включають:
1. Охолодження мішені: мішень у вакуумній машині для нанесення іонного покриття використовується для генерування іонів металу, але вона виділяє багато тепла під час процесу нанесення покриття. Холодильник швидко охолоджує мішень через циркуляційну систему охолодження, щоб підтримувати нормальну робочу температуру мішені, запобігати перегріву обладнання, що може спричинити збій або погіршити якість покриття, і забезпечити стабільний вихід іонів.
2. Контроль стійкості: Theчиллерможе стабільно контролювати температуру обладнання, щоб забезпечити стабільну роботу обладнання в межах нормального діапазону робочих температур. Це допомагає підтримувати консистенцію та стабільність покриття, покращуючи консистенцію та надійність якості покриття.
3. Високоточне регулювання: робочі параметри чиллера можна регулювати відповідно до конкретних вимог, включаючи температуру охолоджувальної води, потік і тиск. Це дозволяє охолоджувачу забезпечувати точний контроль температури відповідно до різних вимог до покриття, забезпечуючи стабільність і високу якість процесу нанесення покриття.
3. Енергозбереження: високоефективна холодопродуктивність і точна функція керування охолоджувачем допомагають зменшити споживання енергії. Ефективно контролюючи температуру обладнання, можна зменшити додаткові витрати енергії та підвищити ефективність використання енергії.
5. Ефективність захисту навколишнього середовища: застосування охолоджувача в машині для нанесення вакуумного іонного покриття може зменшити негативний вплив на навколишнє середовище. Він використовує циркулюючу воду для охолодження, зменшує споживання води та створює менший рівень шуму та вібрації під час роботи.
6. Контроль навколишнього середовища: застосування холодильної машини у машині для нанесення вакуумного іонного покриття також може контролювати температуру та вологість навколишнього середовища, щоб забезпечити гарне робоче середовище. Відповідна температура навколишнього середовища та вологість можуть збільшити ступінь вакууму, зменшити вплив домішок і газів і покращити якість покриття.
Таким чином, застосуваннячиллериу машинах для вакуумного іонного покриття охоплює багато аспектів, таких як охолодження мішеней, охолодження субстратів, охолоджувальне обладнання та контроль навколишнього середовища, забезпечення контролю температури обладнання та заготовок під час процесу покриття, покращення якості покриття та продуктивності.